توسط متخصصان جهاددانشگاهي واحد صنعتي شريف؛
كاتد مگنترون سامانه هاي لايه نشاني اسپاترينگ بهينه سازي شد
1387/12/04 16:59
  به منظور ارتقاي بازدهي دستگاه كاتد مگنترون سامانه هاي لايه نشاني اسپاترينگ ساخت جهاد دانشگاهي واحد&nbsp;صنعتي شريف، بهينه سازي اين سيستم توسط متخصصان گروه پژوهشی فناوري خلأ اين واحد انجام شد.  به گزارش روابط عمومي جهاددانشگاهي واحد&nbsp;صنعتي شريف، محققان گروه پژوهشی فناوري خلأ اين واحد پس از يكسال تحقيق در زمينه ارتقاي بازدهي كاتد مگنترون اسپاترينگ ساخت مركزفناوری خلأ بالا، با بكارگيري فنون شبيه سازي ميدانهاي مغناطيسي، موفق به ارتقاي كارايي اين سيستم شدند. مدير مركز فناوري خلأ بالا در اين زمينه گفت: آخرين آزمايش هاي انجام شده بر روي كاتد جديد، نشان ميدهد كه توان كاتد (بدون افزايش ابعاد و بدون نياز به بالا بردن فشار) حدوداً دو برابر و پلازما از غلظت خيلي بيشتر و پايداري بهتري برخوردار شده است. وحيد مساحتي گفت: محدوده مصرف سطح هدف (تارگت) و نرخ لايه نشاني نيز بيش از دو برابر افزايش يافته اند.  وي، تزريق گاز آرگون به سطح هدف، از داخل كاتد را از ويژگي هاي ديگر كاتد بهينه سازي شده عنوان كرد. عضو هيات علمي جهاددانشگاهي صنعتي شريف با اظهار اميدواري در زمينه كارايي خوب كاتدهاي بهينه سازي شده براي لايه نشاني مواد مغناطيسي افزود: هم اكنون ساخت سامانه مگنترون اسپاترينگ در رژیمهای جریان مستقیم و بسامد رادیوئی برای پژوهشگاه مواد و انرژي در اين مركز در دست انجام است كه اين سيستم به كاتدهاي پيشرفته مجهز خواهد بود. وي در خاتمه با اشاره به سابقه ي طراحي و ساخت سامانه هاي لايه نشاني اسپاترينگ مجهز به كاتدهاي مگنترون در مركز فناوري خلأ بالا جهاددانشگاهي صنعتي شريف گفت:ساخت اين سامانه ها از سال 1380 آغاز شده و تا كنون دو سامانه اسپاترينگ توسط مركز فناوري خلا بالاي جهاد دانشگاهي به دانشگاههاي تربيت مدرس و مالك اشتر تحويل داده شده است و علاوه بر اين چندين مجموعه كاتد مگنترون اسپاترينگ به همراه منبع تغذيه آن نيز در سيستم هاي تبخير در خلأ، براي كاربراني كه مايل به انجام عمليات اسپاترينگ در سيستم خود مي باشند، نصب شده است. گفتني است بخشی از هزينه اين تحقيق از سوي معاونت پژوهش و فناوري جهاد دانشگاهي تامين شده است.ح/الف  