 از سوي جهاددانشگاهي واحد صنعتي شريف؛
اختراع « كاتد كندوپاش با ميدان مغناطيسي مهار شده » به ثبت رسيد
1388/12/08 16:47
   با ساخت سيستم كاتد كندوپاش(اسپاترينگ) با ميدان مغناطيسي مهار شده توسط متخصصان مركز خدمات تخصصي خلأبالا در جهاددانشگاهی واحد صنعتي شريف، اداره ثبت شركتها و مالكيت صنعتي ايران اين اختراع را به نام اين مركز ثبت كرد.
 
  


به گزارش روابط عمومي جهاددانشگاهي واحد صنعتي شريف، اين سيستم كه توسط كورس حمزه، مصطفي سلحشور، علي اصغر زواريان،فاطمه حافظي و فرهاد ايماني از متخصصين مركز فناوري خلاء بالا در جهاددانشگاهي صنعتي شريف، طراحي و ساخته شده است، در ايجاد لايه‌هاي نازك در لايه نشاني‌هاي مواد رسانا و دي الكتريك به روش كندوپاش (اسپاترينگ) كاربرد دارد. 



سيستمهاي اسپاترينگ به منظور لايه نشاني و ساخت لايه هاي نازك تحت خلاء مورد استفاده قرار مي گيرد كه در ساخت انواع حسگرها، ابررسانايي، نانوتكنولوژي و لايه برداري(etching)در سطح اتمي و همچنين در تميزكاري سطوح و قطعات بوسيله پلاسما كاربرد دارد. 
 
  سيستم اسپاترينگ يا كندو پاش بر اساس ايجاد محيط پلاسماي گاز معمولا بي اثر مثل آرگون و در يك محفظه خلا با فشار حدود 2-10ميلي بار كار مي كند.ذرات گاز يونيزه شده با شتاب گرفتن به سمت هدف(مادة لايه نشاني)در ميدان الكتريكي حاصل از يك ولتاژ بالا، سبب كنده شدن مولكولهاي آن شده و بدين وسيله ذرات هدف،كنده شده و بر روي زير لايه قرار مي گيرد. مهمترين مزيت اين سيستم در مكانيزم كار آن، يعني كنده شدن اتمها يا مولكولهاي ماده لايه نشاني در دماي كمتر از دماي ذوب مي باشد.ح/الف 
