«دستگاه سر ضخامت سنج كريستالي »كه توسط محققان مركز خدمات تخصصي خلأ بالا در جهاددانشگاهی صنعتي شريف طراحي شده است در اداره ثبت شركتها و مالكيت صنعتي به ثبت رسيد و گواهي ثبت اختراع دريافت كرد.
به گزارش روابط عمومي جهاددانشگاهي واحد صنعتي شريف،به دنبال دستيابي متخصصان مركز خدمات تخصصي خلأ بالا در اين واحد به طراحي «دستگاه سر ضخامت سنج كريستالي»و به منظور حفظ دارايي هاي معنوي و دانش فني در مراكز تحقيقاتي، گواهي ثبت اين اختراع از سوي اداره ثبت شركتها و مالكيت صنعتي به اين مركز داده شد.
«دستگاه سر ضخامت سنج كريستالي» براي اندازه گیری ضخامت لایه های نازک حین لایه نشانی فيزيكي و بطور برخط از یک آنگستروم تا دو میکرون با نرخ لایه نشانی حد اقل 1/0 آنگستروم بر ثانیه در محيط خلأ يا محيط گاز خنثي استفاده مي شود. این دستگاه به روش بسامد سنجی کار می کند و از فشار آتمسفر تا خلأ بالا در فشار 7-10 میلی بار قابل استفاده است. جایگاه کریستال اين سيستم به وسیله آب خنک میشود و از بسامد کمتر از 5 مگا هرتز تا بیش از 6 مگا هرتز بدون اختلال، ضخامت لایه های نازک را اندازه گیری می نماید . این دستگاه می تواند ضخامت لایه های نازک را از 1/0 آنگستروم تا 2 میکرون و ضخامت لایه های نازک را با نرخ کمینه 1/0 آنگستروم بر ثانیه اندازه گیری نماید.
گفتني است،پديدآورندگان اين مجموعه كوروس حمزه، فرهاد ایمانی، داود کلهر و محمد جلال فلاحی مي باشند.ح/الف